是用高能量X射線或伽瑪射線撞擊材料時激發出的次級X射線。這種現象被廣泛用於元素分析和化學分析,特別是在金屬,玻璃,陶瓷和建材的調查和研究,地球化學,法醫學,考古學和藝術品,例如油畫和壁畫。
XRF 用 X光或其他激發源照射待分析樣品,樣品中的元素之內層電子被擊出後,造成核外電子的躍遷,在被激發的電子返回基態的時候,會放射出特徵 X 光;不同的元素會放射出各自的特徵 X 光,具有不同的能量或波長特性。檢測器(Detector)接受這些 X 光,儀器軟體系統將其轉為對應的信號。這一現象廣泛用於元素分析和化學分析,特別是在研究金屬,玻璃,陶瓷和建築材料,以及在地球化學研究、法醫學、電子產品進料品管(EU RoHS)和考古學等領域,在某種程度上與原子吸收光譜儀互補,減少工廠附設的品管實驗室之分析人力投入。